半導體芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷卻用水，基板晶圓片檢測清洗用水，中段晶圓片濺鍍、曝光、電鍍、光刻、腐蝕等工藝清洗，后段檢測封裝清洗。

太陽能光伏產業主要生產集中在多晶硅提純、拉單晶、多晶硅鑄錠、太陽能電池片等，這些生產工藝中主要動力需求包括：超純水，電源，特氣。

光電光學玻璃行業的超純水設備主要是為玻璃清洗時給超聲波提供超純水。

液晶面板生產大約50%以上工序中硅片與超純水直接接觸，有80%以上工序需要進行化學處理，而化學處理又與超純水有密切關系，并且直接與工件接觸，如果水質不純，就會導致器件性能下降，影響產品性能，進而影響了產品的良率。

作為電解液的重要成分，水在電池中起著至關重要的作用，一般情況下的水中含有鈣鎂離子，固體顆粒、膠狀物質等導電物質，會縮短蓄電池的使用壽命，也不符合國家有關電池用水的標準規范，所以需要水質高的超純水作為電池電解液。